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潔凈工作臺塵埃粒子檢測: 使用塵埃粒子計數(shù)器采樣:塵埃粒子計數(shù)器(粒徑分辨率由0.3μm或0.1μm起始),最小采樣速度為2.83L/min。

潔凈工作臺噪聲檢測：潔凈臺在生產(chǎn)廠商設(shè)置的有效流速范圍內(nèi)，噪聲應(yīng)不超過65 dB(A)